Метод Лели, также известный как процесс Лели или техника Лели, представляет собой технологию выращивания кристаллов, используемую для производства кристаллов карбида кремния для полупроводниковой промышленности. Патент на этот метод был подан в Нидерландах в 1954 году и в США в 1955 году Яном Энтони Лели из Philips Electronics. Патент был впоследствии выдан 30 сентября 1958 года, затем был усовершенствован Д. Р. Гамильтоном и др. в 1960 году и В. П. Новиковым и В. И. Ионовым в 1968 году.
Обзор
Метод Lely производит объемные кристаллы карбида кремния посредством процесса сублимации. Порошок карбида кремния загружается в графитовый тигель, который продувается аргоном и нагревается примерно до 2500 °C (4530 °F). Карбид кремния вблизи внешних стенок тигля сублимируется и осаждается на графитовом стержне вблизи центра тигля, который находится при более низкой температуре.
Существует несколько модифицированных версий процесса Lely, чаще всего карбид кремния нагревается с нижнего конца, а не со стенок тигля, и осаждается на крышке. Другие модификации включают изменение температуры, температурного градиента, давления аргона и геометрии системы. Обычно для достижения требуемых температур 1800–2600 °C (3270–4710 °F) используется индукционная печь.: 195
Эта статья по кристаллографии — заглушка. Вы можете помочь, расширив ее.
