Реактивный ion травление — это технология, используемая в микрофабрикации для удаления веществ с пластин. Пластины – это небольшие полупроводниковые полоски, которые используются при создании микроустройств, а технология реактивного ионного травления гарантирует, что они останутся свободными от материалов, которые могут негативно сказаться на их эффективности. Процедуры микрообработки выполняются с помощью специально разработанных устройств, которые точно определяют удаляемое вещество без ущерба для целостности пластины.
Наиболее распространенное устройство реактивного ионного травления представляет собой вакуумную камеру цилиндрической формы с изолированным держателем пластины, прикрепленным к нижней части камеры. В верхней части сосуда есть небольшие отверстия, которые пропускают газ. Используются различные типы газов в зависимости от индивидуальных требований конкретной пластины.
Индуктивно связанная плазма — еще один вид этой технологии. В этом устройстве плазма создается узкоспециализированным магнитным полем. С помощью этого метода нередко достигаются высокие уровни концентрации в плазме.
Плазма реактивного ионного травления представляет собой химически реактивное состояние вещества, создаваемое более стандартным радиочастотным (РЧ) электромагнитным полем. Ионы в плазме обладают необычно большим количеством энергии. Эти ионы реагируют на мусор на пластине и удаляют дефекты на ее поверхности.
химический процесс, связанный с реактивным ионным травлением, многогранен. Во-первых, в вафельную камеру направляется значительное электромагнитное поле. Затем поле колеблется, что ионизирует молекулы газа в сосуде и удаляет их электроны. Это приводит к образованию плазмы.
Реактивное ионное травление является одним из видов более широкой категории удаления микроструктур, называемой сухим травлением. В процессе удаления не используются жидкости, в отличие от жидкостного травления, при котором для достижения той же цели используются различные кислоты и химические вещества. Поскольку влажное травление вызывает подрезание пластины, а также значительное количество токсичных отходов, сухое травление становится все более популярным методом химического удаления пластины.
Одним из основных недостатков реактивного ионного травления является стоимость. По сравнению с методами мокрого травления, это намного дороже из-за необходимости специального оборудования. Однако процессы сухого травления в целом гораздо более эффективны для достижения более сложных участков пластины. Тем не менее, важно помнить, что некоторые работы не требуют мельчайших деталей, обеспечиваемых этой формой травления, и процедуры влажного травления могут решить эту задачу так же эффективно.
