Мишень для распыления — это материал, который используется для создания тонких пленок с помощью метода, известного как напыление, или тонкая пленка. показания. Во время этого процесса распыляемый материал мишени, который начинается как твердое тело, разбивается газообразными ионами на мельчайшие частицы, которые образуют аэрозоль и покрывают другой материал, известный как подложка. Напыление обычно используется при создании полупроводников и компьютерных микросхем. В результате большинство материалов мишеней для распыления представляют собой металлические элементы или сплавы, хотя есть некоторые доступные керамические мишени, которые создают упрочненные тонкие покрытия для различных инструментов.
В зависимости от природы создаваемой тонкой пленки мишени для распыления могут иметь очень большие размеры и форму. Самые маленькие мишени могут быть менее одного дюйма (2,5 см) в диаметре, а самые большие прямоугольные мишени достигают в длину более одного ярда (0,9 м). Некоторому оборудованию для распыления потребуется мишень большего размера, и в этих случаях производители будут создавать сегментированные мишени, которые соединяются специальными соединениями.
Конструкции распылительных установок, машин, осуществляющих процесс осаждения тонких пленок, стали намного разнообразнее и специфичнее. Соответственно, разнообразие формы и структуры мишеней также начало расширяться. Форма мишени для распыления обычно прямоугольная или круглая, но многие поставщики мишеней могут создавать дополнительные специальные формы по запросу. Для некоторых систем распыления требуется вращающаяся мишень, чтобы получить более точную и даже тонкую пленку. Эти мишени имеют форму длинных цилиндров и предлагают дополнительные преимущества, включая более высокую скорость осаждения, меньшее тепловое повреждение и увеличенную площадь поверхности, что приводит к большей общей полезности.
Эффективность распыления целевых материалов зависит от нескольких факторов, включая их состав и тип ионов, используемых для их разрушения. Тонкие пленки, для которых в качестве материала мишени требуются чистые металлы, обычно обладают большей структурной целостностью, если мишень максимально чистая. Ионы, используемые для бомбардировки мишени для распыления, также важны для получения тонкой пленки достойного качества. Как правило, аргон является основным газом, выбираемым для ионизации и инициирования процесса распыления, но для мишеней с более легким или тяжелым молекул другой благородный газ, такой как неон для более легких молекул или криптон для более тяжелых молекул, более эффективен. Важно, чтобы атомный вес ионов газа был подобен атомному весу распыляемых молекул-мишеней, чтобы оптимизировать передачу энергии и импульса, тем самым оптимизируя ровность тонкой пленки.
